三氯化鐵蝕刻銅原理：
1、三氯化鐵濃度對蝕刻速度的影響
三氯化鐵蝕刻液中隨著三氯化鐵濃度的增高，蝕刻速度加快。當所含三氯化鐵超過某一濃度時，由于溶液黏度增加，蝕刻速度反而有所下降。
2、鹽酸的添加量對蝕刻速度的影響
在蝕刻液中加入鹽酸，一是可以抑制三氯化鐵和氯化銅的水解；二是可提高蝕刻速度。特別是當蝕刻液中銅含量達到37.4g/L后，鹽酸的作用更加明顯。
3、溫度對蝕刻速度的影響
在三氯化鐵蝕刻工藝中，隨溫度的增加，蝕刻速度亦加快，比如當溫度在50度時，全新蝕刻液對銅的蝕刻速度可達10um/min。但在實際生產中，都是采用常溫蝕刻方法。三氯化鐵對銅的蝕刻是一個放熱反應，隨著蝕刻的進行，蝕刻液溫度會逐漸升高，蝕刻速度加快。隨著三氯化鐵的消耗，蝕刻速度下降。同時這一溫升過程比較緩慢，所以在整個蝕刻過程中蝕刻速度變化不大。
4、攪拌對蝕刻速度的影響
靜止蝕刻的速度和蝕刻質量都是比較差的。這是因為在蝕刻過程中，一方面被蝕刻銅表面和蝕刻液中都會有沉淀生成，影響了銅的正常蝕刻；另一方面，銅在蝕刻過程中，被蝕刻表面的溶液會逐漸呈現暗綠色，這表明在補被蝕刻表面的三氯化鐵已跟銅表面發生了還原反應而失去了氧化能力。